型號

QV ACCEL808PRO

QV ACCEL808PRO3

QV ACCEL1010PRO

QV ACCEL1010PRO3

QV ACCEL1212PRO

QV ACCEL1212PRO3

QV ACCEL1517PRO

QV ACCEL1517PRO3

測量范圍

X軸

800mm

1000mm

125000mm

1500mm

Y軸

800mm

1000mm

12500mm

1750mm

Z軸

150mm

150mm

100mm

100mm

分辨率

0.1μm

高靈敏度CCD照相機

黑色(PRO3型號:彩色)

精度*

E_1XY

(1.5+3L/1000)μm

(2.2+3L/1000)μm

E_1Z

(1.5+4L/1000)μm

(2.5+5L/1000)μm

E_2XY

(2.5+4L/1000)μm

(3.5+4L/1000)μm]

照明

(PRL:可編程環(huán)形燈)

表面

LED,RGB(PRO2和PRO3型號:鹵素?zé)?

輪廓

LED,白色(PRO2和PRO3型號:鹵素?zé)?

PRL

LED,RGB(PRO2和PRO3型號:鹵素?zé)?

放大倍率變化系統(tǒng)

可編程電動轉(zhuǎn)盤

*大驅(qū)動速度

X/Y 軸

400mm/s

300mm/s

Z軸

150mm/s

150mm/s

工作臺玻璃尺寸

883×958mm

1186×1186mm

1440×1440mm

1714×1968mm

尺寸(W×D×H)

1475×1716×1578mm

1912×2086×1603mm

2166×2340×1554mm

2440×2838×1554mm

重量

2570kg

2950kg

3600kg

4500kg